為了保證真空設備或系統(tǒng)具有良好的密封性能,僅僅在設備安裝完畢后用檢漏儀去尋求漏孔的位置,堵塞漏孔的通道是遠遠不夠的。作為一名優(yōu)秀的真空技術人員,有必要在真空設備或系統(tǒng)的設計、制造、調試、使用各個有關環(huán)節(jié)中隨時進行真空檢漏工作。真空設備設計中的注意事項如下: (1)焊接結構設計時,盡量減少總裝后用檢漏儀無法檢漏的焊縫。 (2)根據(jù)設備的最大允許漏率等指標,在設計階段就初步確定將要采用的檢漏方法。并作為指導設備設計、加工、調試、驗收的基本原則之一。 (3)根據(jù)設備或部件的最大允許漏率指標,決定設備的密封、連接方式和總體加工精度。 (4)容器結構強度設計時,考慮如果采用加壓法檢漏時要求被檢件所應具有的耐壓能力和結構強度。
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(5)零件結構設計時,盡量避免采用可能干擾檢漏工作的設計方案。例如在真空室內螺釘孔不能采用盲孔形式,因為安裝螺釘后螺孔內部剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出,形成虛漏,從而延長系統(tǒng)抽氣時間,干擾檢漏正常進行。 (6)結構設計時,在容器或系統(tǒng)上要留有必要的檢漏儀器備用接口,以便在設備組裝、調試過程中檢漏使用。 (7)根據(jù)設備的工藝要求,確定真空設備的總的最大允許漏率。并依據(jù)這一總漏率確定各組成部件的最大允許漏率。 (8)選擇零部件結構材料時,考慮是否使用了可能被工作介質和示漏氣體腐蝕而導致?lián)p壞的材料。 (9)與此類似,結構設計中不允許存在連續(xù)雙面焊縫和多層密封圈結構,因為這會在中間形成“寄生容積”。當只有內側焊縫或密封圈有漏孔時,“寄生容積”內的氣體會形成虛漏;而當內、外雙側焊縫或密封圈同時泄漏時,“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應時間過長,無法正常檢漏。